等離子噴涂的涂層注入與去除

等離子噴涂的涂層注入與增強 

等離子噴涂的涂層融入等離子化學元素是一項多年來的技術了，良多時候也鑄就了熟線注入成為了技術的主要項目。然而，在很多情況下，對一定厚度的涂層或薄膜的需求更為迫切。因為離子轟擊能有效地改善沉積膜與基底之間的結合，使得注入和沉積技術天然地有機結合，增強沉積技術應運而生。特別是自20世紀80年代提出等離子體浸沒離子注入技術以來，等離子體源離子注入和沉積技術的泛起非常迅速，不僅彌補了改性層薄的缺點，而且改善了普通沉積技術的組合性差。目前，該技術已進入實用階段。跟著工件偏置方式的改進，工藝靈活性大大進步。圖6示出了高壓脈沖和直流偏壓及其組合的處理圖。復合偏壓技術是由北京航空制造工程研究院高能束實驗室首次開發的。目前，等離子噴涂已對典型精密零件進行了小型應用試驗，取得了滿足的效果。該技術是將工件直接放入成形的等離子體中，在等離子體中加入負高壓脈沖和直流復合偏壓。根據偏壓的不同作用形式，可以在相同的真空輪回中分別進行注入、沉積或注入和沉積，這有利于進步工藝的靈活性。

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等離子噴涂涂層的去除是“加工”概念的主要內涵之一。離子刻蝕一直是集成電路制造過程中的重要工藝。跟著制造技術的發展，非傳統材料去除技術的應用越來越廣泛。電子束、激光束、等離子體等不同的能量模式為人們提供了豐碩的加工手段。因為能源形式和材料的不同，加工機理、設備、對象、本錢等題目也有很大的不同。如激光束加工、電火花加工、電子束加工、等離子束加工等工藝，表面溫度可達到10000-30000 K范圍。離子束刻蝕和聚焦離子束處理很少超過400 K。表2列出了幾種處理技術的處理機理和典型功率密度。近年來，聚焦離子束技術發展迅速，特別是在精密刀具的加工中。因為其能量集中，在加工窄而尖的區域具有獨特的上風。如前所述，等離子噴涂的離子束處理需要大量的能量，因此很難完全利用聚焦離子束來制造工具。假如與激光加工相結合，可認為產業服務。

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